Biegebruchfestigkeiten von geätzten und verformten Silicium-Mikrostrukturen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Kristallisation und Technik
1. Verfasser: Jänsch, E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Gärtner, E. (VerfasserIn), Frühauf, J. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2002
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Titel Jahr Verfasser
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