Biegebruchfestigkeiten von geätzten und verformten Silicium-Mikrostrukturen

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Kristallisation und Technik
1. Verfasser:	Jänsch, E. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gärtner, E. (VerfasserIn), Frühauf, J. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2002
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