Drastische Minderung der Oberflächenreflexion von multi- und sinkristallinem Silizium-Material durch RIE

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Kristallisation und Technik
1. Verfasser:	Erler, Klaus (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ball, Mathias (VerfasserIn), Mrwa, Axel (VerfasserIn), Werner, Thomas (VerfasserIn), Ebest, Gunter (VerfasserIn), Heinz, Steffen (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2002
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