Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen = Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Technisches Messen
1. Verfasser: Welter, Matthias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Manske, Eberhard (VerfasserIn), Jäger, Gerd (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: 2005
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