Interferometrischer Sensor und interferometrisches Kalibriersystem für Ultrapräzisions-Anwendungen = Interferometric Sensor and Calibration System for High-Precision Applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Technisches Messen
1. Verfasser:	Welter, Matthias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Manske, Eberhard (VerfasserIn), Jäger, Gerd (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2005
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