Novel Radial Magnetron For Deposition/Etch On Inner Diameter Surfaces with High Conformality To Replace Cu, Cr, Nb Electrochemical Techniques with iPVD
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings |
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Pages: | 65 |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | eng |
Veröffentlicht: |
2022
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