High Speed Deposition of Al2O3 and Y2O3 for CC Applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Greer, James A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Ebnonnasir, Abbas (VerfasserIn), Scipioni, Larry (VerfasserIn), Mankevich, Alexey (VerfasserIn), Molodyk, Alexander (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
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