Reactive Sputter Deposition: Effect of Different Power Configurations – A Case Study

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Rane, Gayatri (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Dürrenfeld, Philipp (VerfasserIn), Krause, Uwe (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
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