Millisecond Annealing by Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet and Direct Imaging of Temperature Distribution Using Optical Interference Contactless Thermometry (OICT)

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium on Semiconductor Process Integration (12. : 2021 : Online) Semiconductor Process Integration 12
1. Verfasser:	Higashi, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Matsuguchi, K. (VerfasserIn), Sato, T. (VerfasserIn), Hanafusa, H. (VerfasserIn)
Pages:	12
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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