Semiconductor Process Integration 12

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Symposium on Semiconductor Process Integration (VerfasserIn), Electrochemical Society (Herausgebendes Organ), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (SponsorIn)
Weitere Verfasser:	Murota, Junichi (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ, USA ECS, the Electrochemical Society 2021 Red Hook, NY Curran Associates, Inc.
Schriftenreihe:	ECS transactions Electronic materials and processing vol. 104, no. 4
Schlagworte:	Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	"This issue of 'ECS transactions' includes papers presented at the Twelfth Symposium on Semiconductor Process Integration, held during the digital 240th ECS Meeting on October 10-14, 2021." - Vorwort Literaturangaben
Beschreibung:	iii, 230 Seiten Illustrationen
ISBN:	9781713836810 978-1-7138-3681-0