HfZrO-Based Ferroelectric Devices for Lower Power AI and Memory Applications

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium on Semiconductor Process Integration (12. : 2021 : Online) Semiconductor Process Integration 12
1. Verfasser:	Takagi, S. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Toprasertpong, K. (VerfasserIn), Tahara, K. (VerfasserIn), Nako, E. (VerfasserIn), Nakane, R. (VerfasserIn), Wang, Z. (VerfasserIn), Luo, X. (VerfasserIn), Lee, T. E. (VerfasserIn), Takenaka, M. (VerfasserIn)
Pages:	12
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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