Temporal evolution of sputtered species number densities in reactive HiPIMS with nitrogen admixture

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Reactive Sputter Deposition (18. : 2019 : Braunschweig) RSD 2019
1. Verfasser:	Bernátová, Katarina (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!