RSD 2019 the 18th International Conference on Reactive Sputter Deposition : December 5-6, 2019, Braunschweig, Germany

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	International Conference on Reactive Sputter Deposition (VerfasserIn), Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Bräuer, Günter (VeranstalterIn), Gerdes, Holger (VeranstalterIn), Kondruweit, Simone (VeranstalterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Braunschweig, Germany Fraunhofer Institute for Surface Engineering and Thin Films IST 2019
Schlagworte:	Konferenzschrift > Reaktives Sputtern > PVD-Verfahren
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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