Invited talk 2: Reactive magnetron sputtering, challenges in industrial and large area coating systems
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | International Conference on Reactive Sputter Deposition (18. : 2019 : Braunschweig) RSD 2019 |
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| 1. Verfasser: | |
| Pages: | 2019 |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
2019
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