Influence of nitrogen content on structure and material properties for multi-component Al-Cr-Nb-Y-Zr-N thin films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Reactive Sputter Deposition (18. : 2019 : Braunschweig) RSD 2019
1. Verfasser:	Fieandt, Kristina von (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2019
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