The growth of multicomponent (CoCrFeMnNi) films by DC magnetron sputtering in Ar+dry air sputtering gas

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Veröffentlicht in:International Conference on Reactive Sputter Deposition (18. : 2019 : Braunschweig) RSD 2019
1. Verfasser: Radnaoczi, Gyorgy (VerfasserIn)
Pages:2019
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2019
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