Development of Low Temperature Curable Positive Tone Photosensitive Dielectric Material

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	2012 2nd IEEE CPMT Symposium Japan
1. Verfasser:	Tanimoto, Akitoshi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Abe, Koichi (VerfasserIn), Nobe, Shigeru (VerfasserIn), Matsutani, Hiroshi (VerfasserIn)
Pages:	2012 2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2012
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