Diagnostik von Prozessplasmen - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen Tagungsband zum Workshop : 03. Dezember 2019 - Dresden

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Workshop Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen (VerfasserIn), Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (Herausgebendes Organ), Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Herausgebendes Organ), Deutsche Gesellschaft für Plasmatechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Awakowicz, Peter (MitwirkendeR), Kersten, Holger (MitwirkendeR), Fach, Peter (MitwirkendeR), Ferse, Katrin (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. 2019
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmatechnik > Plasmadiagnostik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Titel	Jahr	Verfasser
„Kalorimterische und Kraftsonden zur Diagnostik von Prozessplasmen“	2019	Kersten, Holger
"Die Multipolresonanzsonde — ein mächtiges Diagnostiktool für industrielle Plasmaprozesse der Industrie 4.0“	2019	Oberberg, Moritz
„Diagnostik und Modelle: Smart Manufacturing und Prozessverständnis für aktuelle Plasma-Technologien“	2019	Klick, Michael
„Prozesskontrolle im Rahmen von Plasmatechnik 4.0 — Technologievorsprung oder Entwicklungsbremse“	2019	Schütte, Thomas
Infrarot-Absorptionsspektroskopie an Plasmen für industrielle Anwendungen	2019	Röpcke, Jürgen
„Regelung der Rate und der Schichtzusammensetzung mittels optischer Emissionsspektroskopie bei der plasmaaktivierten Bedampfung“	2019	Zimmermann, Burkhard
„Messprinzip akustooptische Spektroskopie an HiPIMS Prozessen“	2019	Marke, Swen
„Überblick über klassische Plasmadiagnostik mit Plasmasonden und Retarding Field Analysatoren“	2019	Schlemm, Hermann
„Energiedispersive Massenspektrometrie zur Charakterisierung von Plasma- und lonenstrahlprozessen“	2019	Zeuner, Michael
„In Situ Gas Monitoring für industrielle Prozesse und Plasmaanwendungen in der Dünnschichttechnik“	2019	Meyer, Florian