Diagnostik von Prozessplasmen - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen Tagungsband zum Workshop : 03. Dezember 2019 - Dresden

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Workshop Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen (VerfasserIn), Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (Herausgebendes Organ), Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (Herausgebendes Organ), Deutsche Gesellschaft für Plasmatechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Awakowicz, Peter (MitwirkendeR), Kersten, Holger (MitwirkendeR), Fach, Peter (MitwirkendeR), Ferse, Katrin (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Europäischen Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. 2019
Schlagworte:	Konferenzschrift > Plasmatechnik > Plasmadiagnostik
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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