„Regelung der Rate und der Schichtzusammensetzung mittels optischer Emissionsspektroskopie bei der plasmaaktivierten Bedampfung“

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Workshop Diagnostik von Prozessplasmen: Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen (2019 : Dresden) Diagnostik von Prozessplasmen - Möglichkeiten, Grenzen und Anwendungen
1. Verfasser:	Zimmermann, Burkhard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	2019
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