Piezoresistive effect of p-type single crystalline 3C-SiC : silicon carbide mechanical sensors for harsh environments

Piezoresistive effect of p-type single crystalline 3C-SiC silicon carbide mechanical sensors for harsh environments

Dissertation, Griffith University, Queensland, Australia, 2016

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Phan, Hoang-Phuong (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Cham, Switzerland Springer 2017
Schriftenreihe:Springer theses, recognizing outstanding Ph.D. research
Schlagworte:
Silicon carbide > Semiconductors > Microelectromechanical systems > Hochschulschrift > Siliciumcarbid > Einkristall > Nanokristall > Nanodraht > MEMS > Piezowiderstandseffekt > Sensor > Hochtemperatur
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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