Insulating films on semiconductors (INFOS 2017)

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Conference on "Insulating Films on Semiconductors" (VerfasserIn), IHP GmbH (VeranstalterIn)
Weitere Verfasser:	Dą̨browski, Jarek (HerausgeberIn), Wenger, Christian (HerausgeberIn), Niu, Gang (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Amsterdam, Boston, London Elsevier 2017
Schriftenreihe:	Microelectronic engineering volume 178 (2017)
Schlagworte:	Konferenzschrift
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Beschreibung
Beschreibung:	"This open special issue is devoted to insulating films on semiconductors (INFOS). It follows a series of special issues built around, but not restricted to, the papers submitted to the biannual INFOS Conference. The 20th INFOS Meeting took place on June 27-30, 2017, in Potsdam (Germany)." - Vorwort Literaturangaben
Beschreibung:	vii, 1, 324 Seiten Diagramme, Illustrationen