Advanced UV for Life - Verbundprojekt "Hocheffiziente UV-C-LEDs" - Teilprojekt 3: "Optimierung des ALD-Verfahrens für die Template-Herstellung" Teilprojekt-Schlussbericht : Berichtslaufzeit: 01.01.2015 bis 31.12.2016

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Sentech Instruments GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Gargouri, Hassan (MitwirkendeR), Naumann, Franziska (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin SENTECH 2017
Schlagworte:	Forschungsbericht
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