Advanced UV for Life - Verbundprojekt "Hocheffiziente UV-C-LEDs" - Teilprojekt 3: "Optimierung des ALD-Verfahrens für die Template-Herstellung" Teilprojekt-Schlussbericht : Berichtslaufzeit: 01.01.2015 bis 31.12.2016
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| Weitere Verfasser: | , |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Berlin
SENTECH
2017
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 03ZZ0106C. - Verbundnummer 01157021 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 9 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme |