Dry process special issue

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Dry Process (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Ishikawa, Kenji (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Tokyo IOP Publishing 2017
Schriftenreihe:Japanese journal of applied physics volume 56, number 6S2 (June 2017)
Schlagworte:
Konferenzschrift > Trockenätzen > Oberflächenbehandlung
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Beschreibung
Beschreibung:"Collection of papers presented at the 38th International Symposium on Dry Process (DPS2016) held at Hokkaido University, Sapporo, in Japan, on November 21 and 22, 2016" - Vorwort
Literaturangaben
Beschreibung:circa 120 Seiten in verschiedenen Seitenzählungen
Diagramme, Illustrationen