Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications IV 12-14 October 2016, Beijing, China

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften: Conference on Optical Metrology and Inspection for Industrial Applications (VerfasserIn), SPIE (SponsorIn), Zhong guo guang xue xue hui (SponsorIn)
Weitere Verfasser: Han, Sen (HerausgeberIn), Yoshizawa, Toru (HerausgeberIn), Zhang, Song (HerausgeberIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Washington, USA SPIE 2016
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE volume 10023
Schlagworte:
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Teilkonferenz von: SPIE/COS Photonics Asia
Beschreibung:circa 440 verschieden gezählte Seiten
Illustrationen
ISBN:9781510604650
978-1-5106-0465-0