Entwicklung einer innovativen Nano-Imprint-Lithographie Plattform für die großformatige Nanostrukturierung Teilprojekt: Rekombinationstechnologie zur Flächenskalierung von Nanostrukturen auf Basis von Step&Repeat Nanoimprint : Schlussbericht Verbundprojekt ANILP : Berichtszeitraum: 01.11.2013-31.10.2016

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schlachter, Florian (VerfasserIn)
Körperschaft:	Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mit beschränkter Haftung 2016
Schlagworte:	Forschungsbericht > Lithografie
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 01QE1318B. - Verbund-Nummer 01149693 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	23, 2 ungezählte Blätter Illustrationen