BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017 = HmtS - high-speed micro tactile sensor for measuring surface structures of high aspect ratio
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Braunschweig
Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik (TUBS-IHT)
30.3.2017
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