BMBF-Verbundprojekt "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis (HmtS)" Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.08.2013 bis 31.01.2017 = HmtS - high-speed micro tactile sensor for measuring surface structures of high aspect ratio

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Peiner, Erwin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Braunschweig Institut für Halbleitertechnik (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik (TUBS-IHT) 30.3.2017
Schlagworte:	Forschungsbericht
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 03V0409. - Verbund-Nummer 01144650 Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	50 Seiten, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme