Abschlussbericht zum Verbundprojekt: Durchgängige Simulations-, Entwicklungs- und Technologieplattform für eine neue Generation intelligenter und hochpräziser Inertialsensorsysteme im Geräte- und Anlagenbau - GIPRIS Teilvorhaben: AIM Prozesstechnologie für neue MEMS-Generation mit höchster Genauigkeit sowie Methoden und Werkzeuge : 01.10.2012 bis 30.06.2016 = Continuous simulation, development and technology plattform for a new generation of intelligent and high-precision inertial sensor systems in equipment and machine engineering (GIPRIS)

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Arnold, Benjamin (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz Zentrum für Mikrotechnologien (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Meinecke, Christoph Robert (VerfasserIn), Reuter, Danny (VerfasserIn), Dienel, Marco (VerfasserIn), Mehner, Jan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Technische Universität Chemnitz, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikrotechnologien 22.12.2016
Schlagworte:	Forschungsbericht > Anlagenbau > Gerätebau > MEMS > Beschleunigungssensor > Vibrationssensor > Neigungssensor
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 16M3094D. - Verbund-Nummer 01127305 Autoren dem Berichtsblatt entnommen Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	26, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme