ALD for Industry Tutorial, Workshop & Industrial Exhibition : January 17, 2017 Tutorial, TU Dresden, Werner-Hartmann-Bau, Tour of ALD Labs at IHM, NaMlab & Fraunhofer IKTS Dresden : January 18, 2017 Workshop & Industrial Exhibition, Swissôtel Dresden, Am Schloss

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Workshop ALD for Industry (VerfasserIn), Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten (VeranstalterIn), Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung (VeranstalterIn), Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (VeranstalterIn), Technische Universität Dresden Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (VeranstalterIn)
Weitere Verfasser:	Sundqvist, Jonas (MitwirkendeR), Hossbach, Christoph (MitwirkendeR), Schröder, Uwe (MitwirkendeR), Neidhardt, Jörg (MitwirkendeR), Koldinski, Sabine (MitwirkendeR), Ferse, Katrin (MitwirkendeR)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden EFDS Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. 2017
Schlagworte:	Konferenzschrift > Atomlagenabscheidung
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!