Schlussbericht zum BMBF-geförderten Teilvorhaben „Evaluierung innovativer Herstellungsverfahren und -prozesse an einer Demonstratoranlage innerhalb des Verbundprojektes „CIS-Clustertool (CIS-CT)“ Projektlaufzeit: 01.04.2011-31.12.2015

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Avancis GmbH (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Fürfanger, Martin (MitwirkendeR)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: München AVANCIS GmbH 2016
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N11645. - Verbund-Nummer 01091125
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:36 Seiten
Illustrationen, Diagramme