E450LMDAP, Teilvorhaben “Image Placement Optimizer”, WP2 “Lithography platforms”, Subtask der Task “Hyper NA EUV optical systems”: Aufbau einer Pilotlinie für die Herstellung von Mikrospiegel-Arrays für den Einsatz in EUV-Systemen (Task Leader: Carl Zeiss SMT GmbH) : Schlussbericht

E450LMDAP, Teilvorhaben “Image Placement Optimizer”, WP2 “Lithography platforms”, Subtask der Task “Hyper NA EUV optical systems”: Aufbau einer Pilotlinie für die Herstellung von Mikrospiegel-Arrays für den Einsatz in EUV-Systemen (Task Leader: Carl Zeiss SMT GmbH) Schlussbericht

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Hilberath, Thomas Maria (VerfasserIn)
Körperschaft: Robert Bosch GmbH Automotive Electronics (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Reutlingen Robert Bosch GmbH, Automotive Electronics 08.03.16/15.04.16
Schlagworte:
Forschungsbericht > Mikrosystemtechnik > Spiegel > EUV-Spektrometer
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16ES0261
Autor und durchführende Institution dem Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
"Abschlussdatum des Vorhabens: 30.09.2015" - Berichtsblatt
Beschreibung:5 ungezählte Blätter
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