Schlussbericht zum Vorhaben BMBF-Projekt ETIK, EUV Projektionsoptik für 14nm Auflösung : Teilvorhaben: Diffraktive optische Elemente auf großen Substraten : Laufzeit: 01.06.2012-31.12.2015 = Diffractive optical elements on large substrates

Schlussbericht zum Vorhaben BMBF-Projekt ETIK, EUV Projektionsoptik für 14nm Auflösung Teilvorhaben: Diffraktive optische Elemente auf großen Substraten : Laufzeit: 01.06.2012-31.12.2015 = Diffractive optical elements on large substrates

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Koepernik, Corinna (VerfasserIn)
Körperschaft: Institut für Mikroelektronik Stuttgart (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Naasz, Sandra (VerfasserIn), Belschner, Amadeus (VerfasserIn), Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Institut für Mikroelektronik Stuttgart 15.07.2016
Schlagworte:
Forschungsbericht
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 13N12257 [alt] 16N12257 [neu]. - Verbund-Nummer 01121905
Autoren dem Berichtsblatt entnommen
Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:52 Seiten, 2 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme