Special issue: SPIE Microtechnologies 2015 special issue of the conferences 'Smart Sensors, Actuators, and MEMS', 'Cyber Physical Systems' and 'Bio-MEMS and Medical Microdevices' within the SPIE Europe Microtechnologies Symposium, Barcelona, Spain, 4-6 May 2015

Bibliographische Detailangaben

Körperschaften:	Smart Sensors, Actuators, and MEMS (VerfasserIn), SPIE, The International Society for Optical Engineering Europe (VeranstalterIn), Cyber Physical Systems (VerfasserIn), Bio-MEMS and Medical Microdevices (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Schmid, Ulrich (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Berlin, Heidelberg Springer 2016
Schriftenreihe:	Microsystem technologies volume 22, number 1 (January 2016)
Schlagworte:	Konferenzschrift
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