Verbundprojekt „Effiziente Produktion ultrapräziser innovativ strukturierter funktioneller Oberflächen mittels adaptiver Plasmatechnik (SHAPION)“ : IOM-Teilvorhaben „Neue adaptive RIBE-Technologie auf der Grundlage exakter Geometriedaten der 3D-Maskenstrukturen und in-situ-Prozessmesstechnik“ : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.05.2012-30.10.2015

Verbundprojekt „Effiziente Produktion ultrapräziser innovativ strukturierter funktioneller Oberflächen mittels adaptiver Plasmatechnik (SHAPION)“ IOM-Teilvorhaben „Neue adaptive RIBE-Technologie auf der Grundlage exakter Geometriedaten der 3D-Maskenstrukturen und in-situ-Prozessmesstechnik“ : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.05.2012-30.10.2015

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fechner, Renate (VerfasserIn)
Körperschaft: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Leibzig Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. 2015
Schlagworte:
Forschungsbericht > Oberflächenbehandlung > Plasmatechnik
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