Verbundprojekt „Effiziente Produktion ultrapräziser innovativ strukturierter funktioneller Oberflächen mittels adaptiver Plasmatechnik (SHAPION)“ IOM-Teilvorhaben „Neue adaptive RIBE-Technologie auf der Grundlage exakter Geometriedaten der 3D-Maskenstrukturen und in-situ-Prozessmesstechnik“ : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.05.2012-30.10.2015

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Fechner, Renate (VerfasserIn)
Körperschaft:	Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung (Herausgebendes Organ)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Leibzig Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. 2015
Schlagworte:	Forschungsbericht > Oberflächenbehandlung > Plasmatechnik
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13N12150. - Verbund-Nummer 01115065 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	14 Seiten, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme