ULSI process integration 9

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Electrochemical Society (VerfasserIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (SponsorIn)
Weitere Verfasser:	Claeys, C. (HerausgeberIn), Murota, J. de (HerausgeberIn), Tao, M. (HerausgeberIn), Iwai, H. (HerausgeberIn), Deleonibus, S. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ The Electrochemical Society 2015
Schriftenreihe:	ECS transactions Electronic materials and processing vol. 69, no. 10
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	"This issue of ECS Transactions includes papers that were presented at the Ninth Symposium on ULSI Process Integration held in Phoenix, AR during the 228th Meeting of The Electrochemical Society, October 11-15, 2015." - Vorwort Literaturangaben
Beschreibung:	ix, 323 Seiten Illustrationen
ISBN:	9781623323172 978-1-62332-317-2 9781607686750 978-1-60768-675-0