Atomic layer deposition applications 11

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Electrochemical Society (VerfasserIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (SponsorIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (SponsorIn)
Weitere Verfasser:	Roozeboom, F. (HerausgeberIn), Gendt, S. de (HerausgeberIn), Delabie, A. (HerausgeberIn), Elam, J. W. (HerausgeberIn), Straten, O. van der (HerausgeberIn), Huffman, C. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ The Electrochemical Society 2015
Schriftenreihe:	ECS transactions Electronic materials and processing vol. 69, no. 7
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	"This issue of ECS Transactions contains the manuscripts on most of the technical presentations that have been given at the annual international symposium on Atomic Layer Deposition Applications 11, during the 228th Meeting of The Electrochemical Society." - Vorwort Literaturangaben
Beschreibung:	viii, 271 Seiten Illustrationen
ISBN:	9781623323141 978-1-62332-314-1 9781607686729 978-1-60768-672-9