Silicon compatible materials, processes, and technologies for advanced integrated circuits and emerging applications 4

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaften:	Electrochemical Society (VerfasserIn), Electrochemical Society Electronics and Photonics Division (SponsorIn), Electrochemical Society Dielectric Science and Technology Division (SponsorIn)
Weitere Verfasser:	Roozeboom, F. (HerausgeberIn), Narayanan, V. (HerausgeberIn), Kakushima, K. (HerausgeberIn), Timans, P. J. (HerausgeberIn), Gusev, E. P. (HerausgeberIn), Kohl, P. A. (HerausgeberIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ The Electrochemical Society 2014
Schriftenreihe:	ECS transactions Electronic materials and processing vol. 61, no. 3
Schlagworte:	Konferenzschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:	"From May 12-15, 2014, the International Symposium on Silicon Compatible Materials, Processes, and Technologies for Advanced Intergrated Circuits and Emerging Applications 4 has been held as part of the 225th Meeting of the Electrochemical Society. ... This issue of ECS Transactions contains most of the papers presented at the symposium ..." - Vorwort
Beschreibung:	viii, 255 Seiten Illustrationen
ISBN:	9781607685180 978-1-60768-518-0 9781623321628 978-1-62332-162-8