Scheduling cluster tools for concurrent processing of two wafer types with PM sharing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International journal of production research
1. Verfasser:	Lee, Jun-Ho (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Kim, Hyun-Jung (VerfasserIn), Lee, Tae-Eog (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	October 2015
Schlagworte:	Aufsatz in Zeitschrift
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