Montage von Mikrosystemen mit reaktivem Nanofügen in einer Fertigungsprozesskette - "ReMTeC" Schlussbericht zu dem IGF-Vorhaben

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schumacher, Axel (VerfasserIn)
Körperschaft: Institut für Mikro- und Informationstechnik (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Villingen-Schwenningen Institut für Mikro- und Informationstechnik 10.4.2015
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen AiF 17368 N. - Ausdruck der Online-Ressource
Literaturverzeichnis: Blatt 45
Beschreibung:45 Blätter
Illustrationen, Diagramme