Montage von Mikrosystemen mit reaktivem Nanofügen in einer Fertigungsprozesskette - "ReMTeC" Schlussbericht zu dem IGF-Vorhaben
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Körperschaft: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Villingen-Schwenningen
Institut für Mikro- und Informationstechnik
10.4.2015
|
Schlagworte: | |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Beschreibung: | Förderkennzeichen AiF 17368 N. - Ausdruck der Online-Ressource Literaturverzeichnis: Blatt 45 |
---|---|
Beschreibung: | 45 Blätter Illustrationen, Diagramme |