Nitridgebundenes Siliziumnitrid wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium
Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2015
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Körperschaft: | |
Format: | UnknownFormat |
Sprache: | ger |
Veröffentlicht: |
Stuttgart
Fraunhofer Verlag
2015
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Zusammenfassung: | Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2015 |
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Beschreibung: | XI, 145 Seiten Illustrationen 21 cm |
ISBN: | 383960950X 3-8396-0950-X 9783839609507 978-3-8396-0950-7 |