Nitridgebundenes Siliziumnitrid wiederverwendbare Tiegel für die gerichtete Erstarrung von Silizium

Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2015

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Schneider, Veronika (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer IISB, Erlangen (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Stuttgart Fraunhofer Verlag 2015
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2015
Beschreibung:XI, 145 Seiten
Illustrationen
21 cm
ISBN:383960950X
3-8396-0950-X
9783839609507
978-3-8396-0950-7