Schnelles Infrarot-Spektrometer für die Analyse von Kohlenwasserstoffen : SIRKO : Teilvorhaben: Technologieentwicklung und Herstellung von Funktionsmustern der mikromechanischen Filter : Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 01.03.2012-28.02.2015 = Fast infrared spectrometer for the analysis of hydrocarbons (SIRKO) : technology development and fabrication of prototypes of the MEMS filters

Schnelles Infrarot-Spektrometer für die Analyse von Kohlenwasserstoffen SIRKO : Teilvorhaben: Technologieentwicklung und Herstellung von Funktionsmustern der mikromechanischen Filter : Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 01.03.2012-28.02.2015 = Fast infrared spectrometer for the analysis of hydrocarbons (SIRKO) : technology development and fabrication of prototypes of the MEMS filters

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Geßner, Thomas (VerfasserIn)
Körperschaft: Technische Universität Chemnitz Zentrum für Mikrotechnologien (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser: Hiller, Karla (VerfasserIn), Helke, Christian (VerfasserIn), Seiler, Jan (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Chemnitz Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien 2015
Schlagworte:
Forschungsbericht > Interferenzfilter > Mikrooptik > Infrarotdetektor
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