Schnelles Infrarot-Spektrometer für die Analyse von Kohlenwasserstoffen SIRKO : Teilvorhaben: Technologieentwicklung und Herstellung von Funktionsmustern der mikromechanischen Filter : Abschlussbericht : Berichtszeitraum: 01.03.2012-28.02.2015 = Fast infrared spectrometer for the analysis of hydrocarbons (SIRKO) : technology development and fabrication of prototypes of the MEMS filters

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Geßner, Thomas (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Chemnitz Zentrum für Mikrotechnologien (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Hiller, Karla (VerfasserIn), Helke, Christian (VerfasserIn), Seiler, Jan (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Chemnitz Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien 2015
Schlagworte:	Forschungsbericht > Interferenzfilter > Mikrooptik > Infrarotdetektor
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Beschreibung
Beschreibung:	Förderkennzeichen BMBF 13N12038. - Verbund-Nummer 01112285 Autoren dem Berichtsblatt entnommen. - Paralleltitel dem englischen Berichtsblatt entnommen Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:	39 Blätter, 2 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme