31st European Mask and Lithography Conference : 22 - 23 June 2015, Eindhoven, Netherlands

31st European Mask and Lithography Conference 22 - 23 June 2015, Eindhoven, Netherlands

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser: Behringer, Uwe F. W. (BerichterstatterIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: Bellingham, Wash. SPIE 2015
Schriftenreihe:Proceedings of SPIE 9661
Schlagworte:
Konferenzschrift > Maske > Lithografie
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Literaturangaben
Beschreibung:Getr. Zählung, [ca. 260] S.
Ill., graph. Darst.
ISBN:9781628418798
978-1-62841-879-8