Forschung an Materialien, Herstellungs- und Integrationstechnologien für RF-MEMS Schlussbericht für das ENIAC-Verbundprojekt EPAMO : Förderzeitraum 01.04.2011-30.09.2014

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Stoppel, Fabian (VerfasserIn)
Körperschaft: Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (Herausgebendes Organ)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Itzehoe Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT 2014
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Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
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Beschreibung
Beschreibung:Förderkennzeichen BMBF 16BU1122 [neu] - 01BU1122 [alt]. - Verbund-Nummer 01087645
Autor dem Berichtsblatt entnommen
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Beschreibung:20, 2 ungezählte Blätter
Illustrationen, Diagramme