Entwicklung eines Trennprozesses zur Herstellung von ultradünnen Siliziumsubstraten mittels nichtlinearen optischer Absorption durch Kurzpulsanregung Kurztitel: NanoPat : SIGNO-Vorhaben: 03SHWB028 : Schlussbericht : Projektlaufzeit: 01.10.2013 bis 30.11.2014
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| Sprache: | ger |
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Bremen
Bremer Institut für angewandte Strahltechnik (BIAS) GmbH
2015
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMBF 03SHWB028 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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| Beschreibung: | 18 ungezählte Blätter Illustrationen, Diagramme |