Abschlussbericht zum FuE-Verbundvorhaben "Integrierte hochauflösende nanomodifizierte Multi-Elektroden-Arrays (InMEAs)" Teilvorhaben: InMEAs - Teilvorhaben 2: "ALD-Beschichtung und Abscheidung vertikaler CNTs" : InMEAs - Teilvorhaben 3: "CMOS-Integration nanomodifizierter MEA-Strukturen" = "Integrated nano-modified arrays of multi-electrodes with high-resolution (InMEAs)" : project part 2: "ALD-coating and deposition of vertical alligned CNT" und project part 3: "CMOS-integration of nano-modified MEA-structures"

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Krug, Mario (VerfasserIn)
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Meißner, Frank (VerfasserIn), Endler, Ingolf (VerfasserIn), Gierth, Uta (VerfasserIn), Rabbow, Thomas (VerfasserIn), Schneider, Michael (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Dresden Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Systeme IKTS 30. März 2015
Schlagworte:	Forschungsbericht
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!