Mechanical properties and residual stress of thin 3C-SiC(100) films determined using MEMS structures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (10. : 2014 : Grenoble) Silicon carbide and related materials 2014
1. Verfasser:	Hähnlein, Bernd (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Stubenrauch, Mike (VerfasserIn), Pezoldt, Jörg (VerfasserIn)
Pages:	2014
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2015
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